シリコンの原子と原子が規則正しく結合している単結晶に対し、原子数が少ない小さな結晶の集まりを多結晶シリコンといいます。
金属珪石の生成
山から珪石を取り出し、炭素で還元して金属珪素を作ります。
多結晶シリコン(ポリシリコン)析出
金属珪素を原料にしてトリクロロシランを製造し、蒸溜精製を行って純度を高めます。
高温度で水素による還元を行い、棒状の高純度多結晶シリコン(ポリシリコン)を析出させます。
多結晶シリコンの生成
ポリシリコンを溶融し、るつぼで冷し固める。
多結晶シリコンウエハー製造
1.角柱化
ひとつのインゴットを多数の角柱に分断します。
バンドソー
- 少ないカーフロスで高精度に切断します。
- 次工程「トップ・テール切断」も出来ます。
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2. トップ・テール切断
トップ・テールを切断し、表層面を除去します。
簡易型切断機
- トップ・テールを高速に切断します。
- バンドソーと比較し、コストパフォーマンスに優れています。
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3. リスク回避処理
ウエハースライス工程時のリスク回避のため、四角柱の端面を直角に研削します。
端面研削装置
- ソーラー用シリコンブロックの端面を高精度に研削する装置です。
- 現在、シリコンインゴットをウェハー状にスライスする際、端面直角度が正確でないことが原因で、ワイヤーが破断するといったことが起こっています。これを解消するため本装置は、研削したインゴットの長手方向の四角面を基準として、端面を直角に研削します。
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4. ウエハー歩留まり向上のための処理
ウエハーの歩留まりを向上させるため、R面及び平面を研削・研磨し、表面のダメージ層を除去します。
多軸研削研磨装置
- 多軸ヘッドにより平面・R面・C面を研削研磨する装置です。
- ワークストッカー付けることにより、1台の装置でワークの投入、取出し及び研削・研磨が可能となり、24時間フル稼働出来ます。
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5. ウエハー製造
ワイヤソーでスライスし、ウエハーにします。
多結晶シリコン各種加工
多結晶シリコンインゴット切断機
- 多結晶シリコン製造過程において、効率よく不純物を除去するために、おおざっぱに切断する装置です。
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