HOME > シリコン加工装置:加工機紹介:外周研削装置
ポリシリコン又は引き上げられた単結晶シリコン等の外周を、高速で高精度に仕上げることを目的とする。
型式 | SCM-0075型 |
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対象ワークサイズ | φ75~φ140×150L~750L |
主軸送りストローク | 1200mm |
主軸切込ストローク | 100mm |
芯出しモーターストローク | 50mm |
ワーク長対応用ストローク | 600mm |
主軸回転モーター(荒・仕上げ) | 3.7kW INV付 2台 |
主軸送りモーター | 3.7kW INV付 1台 |
主軸切込モーター(荒・仕上げ) | サーボモーター400W 1/20 2台 |
ワーク回転モーター | サーボモーター400W 1/20 1台 |
ワーククランプ | 油圧シリンダー400W |
ワーク芯出し | リニアアクチュエーター2台 |
ワーク長対応モーター | サーボモーター100W 1/12 B付 1台 |