HOME > シリコン加工装置:加工機紹介:外周研削装置
ポリシリコン又は引き上げられた単結晶シリコン等の外周を、高速で高精度に仕上げることを目的とする。
| 型式 | SCM-0075型 |
|---|---|
| 対象ワークサイズ | φ75~φ140×150L~750L |
| 主軸送りストローク | 1200mm |
| 主軸切込ストローク | 100mm |
| 芯出しモーターストローク | 50mm |
| ワーク長対応用ストローク | 600mm |
| 主軸回転モーター(荒・仕上げ) | 3.7kW INV付 2台 |
| 主軸送りモーター | 3.7kW INV付 1台 |
| 主軸切込モーター(荒・仕上げ) | サーボモーター400W 1/20 2台 |
| ワーク回転モーター | サーボモーター400W 1/20 1台 |
| ワーククランプ | 油圧シリンダー400W |
| ワーク芯出し | リニアアクチュエーター2台 |
| ワーク長対応モーター | サーボモーター100W 1/12 B付 1台 |