【 原マシナリー】愛知県岡崎市のシリコン加工装置・専用機設計製作メーカー

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単結晶シリコンウエハー製造工程とそれに関わる加工機

単結晶シリコンとは、シリコンの原子が規則正しく整列していて、材料としてのシリコンが最大限の能力を発揮できる状態のことをいいます。

金属珪石の生成

山から珪石を取り出し、炭素で還元して金属珪素を作ります。

多結晶シリコン(ポリシリコン)析出

金属珪素を原料にしてトリクロロシランを製造し、蒸溜精製を行って純度を高めます。

高温度で水素による還元を行い、棒状の高純度多結晶シリコン(ポリシリコン)を析出させます。

単結晶シリコンの生成

ポリシリコンを溶融し、炉から引き上げ再結晶化し、単結晶シリコンを生成します。

単結晶シリコンウエハー製造

1. 円柱化

炉から引き上げられた単結晶シリコンを、一定の長さに切断し円柱にします。

バンドソー
  • 1台の装置で指定寸法ごとにCutし トップ・テール・サンプル・製品を自動で送り出します。

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2. 四角柱化

長手方向を4面切断し、R面を残して四角柱にします。

2枚刃2軸可動加工機
  • 単結晶シリコンを角だしする装置です。
  • ワークストッカーを付けることにより、1台の装置でワークの投入、取出し及び芯出し、角だしが可能となり、24時間フル稼働出来ます。
  • 2枚のブレードでワークを加工することで2面を同時に仕上げることができ、高効率です。

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3. リスク回避処理

ウエハースライス工程時のリスク回避のため、四角柱の端面を直角に研削します。

端面研削装置
  • ソーラー用シリコンブロックの端面を高精度に研削する装置です。
  • 現在、シリコンインゴットをウェハー状にスライスする際、端面直角度が正確でないことが原因で、ワイヤーが破断するといったことが起こっています。これを解消するため本装置は、研削したインゴットの長手方向の四角面を基準として、端面を直角に研削します。

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4. ウエハー歩留まり向上のための処理

ウエハーの歩留まりを向上させるため、R面及び平面を研削・研磨し、表面のダメージ層を除去します。

多軸研削研磨装置
  • 多軸ヘッドにより平面・R面・C面を研削研磨する装置です。
  • ワークストッカー付けることにより、1台の装置でワークの投入、取出し及び研削・研磨が可能となり、24時間フル稼働出来ます。

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5. ウエハー製造

ワイヤソーでスライスし、ウエハーにします。

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