HOME > 専用機設計製作：シリコン加工装置 [シリコン製造工程に関わる加工機][多結晶シリコン]
シリコンの原子と原子が規則正しく結合している単結晶に対し、原子数が少ない小さな結晶の集まりを多結晶シリコンといいます。
金属珪石の生成
山から珪石を取り出し、炭素で還元して金属珪素を作ります。
多結晶シリコン（ポリシリコン）析出
金属珪素を原料にしてトリクロロシランを製造し、蒸溜精製を行って純度を高めます。
高温度で水素による還元を行い、棒状の高純度多結晶シリコン(ポリシリコン)を析出させます。
多結晶シリコンの生成
ポリシリコンを溶融し、るつぼで冷し固める。
多結晶シリコンウエハー製造
1.角柱化
ひとつのインゴットを多数の角柱に分断します。
2. トップ・テール切断
トップ・テールを切断し、表層面を除去します。
3. リスク回避処理
ウエハースライス工程時のリスク回避のため、四角柱の端面を直角に研削します。
端面研削装置
- ソーラー用シリコンブロックの端面を高精度に研削する装置です。
- 現在、シリコンインゴットをウェハー状にスライスする際、端面直角度が正確でないことが原因で、ワイヤーが破断するといったことが起こっています。これを解消するため本装置は、研削したインゴットの長手方向の四角面を基準として、端面を直角に研削します。
４. ウエハー歩留まり向上のための処理
ウエハーの歩留まりを向上させるため、Ｒ面及び平面を研削・研磨し、表面のダメージ層を除去します。
多軸研削研磨装置
- 多軸ヘッドにより平面・Ｒ面・Ｃ面を研削研磨する装置です。
- ワークストッカー付けることにより、1台の装置でワークの投入、取出し及び研削・研磨が可能となり、24時間フル稼働出来ます。
５. ウエハー製造
ワイヤソーでスライスし、ウエハーにします。
